Microanalyseur ionique
- 1 January 1968
- journal article
- Published by EDP Sciences in Revue de Physique Appliquée
- Vol. 3 (4), 360-364
- https://doi.org/10.1051/rphysap:0196800304036001
Abstract
La méthode d'analyse locale décrite ci-dessous repose sur le phénomène d'émission d'ions caractéristiques arrachés à une cible solide par le bombardement d'un faisceau de particules de quelques kiloélectron-volts d'énergie. On peut soit obtenir directement des images de distribution avec une résolution d'un micron, soit, en pulvérisant graduellement l'objet, l'analyser tranche par tranche avec une résolution en profondeur de l'ordre de 100 Å. Tous les éléments peuvent être analysésKeywords
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- Ion Microprobe Mass AnalyzerJournal of Applied Physics, 1967