Zur Kinetik der Gasphasenabscheidung von Silicium-Nitridschichten
- 1 April 1971
- journal article
- research article
- Published by Walter de Gruyter GmbH in Zeitschrift für Physikalische Chemie
- Vol. 246O (1), 357-370
- https://doi.org/10.1515/zpch-1971-24639