Une technique simple pour mesurer l'épaisseur et l'indice de réfraction de couches transparentes sans les altérer

Abstract

On expose une méthode non destructive et simple pour mesurer l'indice de réfraction et l'épaisseur de couches transparentes sur des supports réfléchissants. La technique nécessite l'emploi d'un microscope équipé d un filtre monochromatique et d un ensemble qui peut tourner de telle sorte que la lumière réfléchie soit observée suivant des angles différents. On peut utiliser cette technique dans la détermination de l'épaisseur de couches de quelques centaines d'angstrôms à plusieurs microns avec des précisions de 0,2 % par les épaisseurs supérieures à 2 μ et d'une dizaine d'angströms pour les plus faibles