Neue Entwicklungen zur bildanalytischen Partikelgrößenanalyse im Mikron‐ und Submikron‐Bereich

Abstract

Partikelanalysen erfordern in vielen Fällen die Kenntnis der Morphologie der Individuen. Die in solchen Fällen meistens eingesetzte Untersuchungstechnik, Lichtmikroskopie mit quantitativer Bildauswertung, stößt auf verfahrensbedingte Grenzen. Es wird eine kurze Übersicht über den gegenwärtigen Stand der quantitativen Bildanalyse gegeben. Im Anschluß daran wird erläutert, wie die Rasterelektronenmikroskopie die zu erhaltenden Ergebnisse verbessert. Durch die Einführung eines Ringdetektors für rückgestreute Elektronen in Verbindung mit der on‐line‐Bildanalyse wird die quantitative Rasterelektronenmikroskopie zu einem überlegenen Untersuchungsverfahren.