Croissance épitaxique de dépôts de tantale sur tantale au cours de la décomposition thermique de chlorure gazeux
- 31 July 1975
- journal article
- Published by Elsevier in Journal of Crystal Growth
- Vol. 29 (3), 367-372
- https://doi.org/10.1016/0022-0248(75)90184-0
Abstract
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- Croissance épitaxique de codépôts molybdène-tungstène sur molybdène par réduction des fluorures gazeuxJournal of Crystal Growth, 1971