Massenspektrometrische Untersuchung der Vorgänge beim Verdampfen von Indiumarsenid

Abstract

InAs wurde auf etwa 1000°K erhitzt und die Verdampfungsprodukte massenspektrometrisch analysiert. Es wurde festgestellt, daß das Arsen fraktioniert in Form von As₄- und As₂-Molekülen verdampft. Der Verdampfungsvorgang kann in drei Zeitabschnitte eingeteilt werden: 1. Sublimation von Arsen aus festem InAs, dabei Ausbildung einer mit Indium angereicherten flüssigen Phase an der Oberfläche; 2. Verdampfen des Arsens aus der flüssigen Phase unter fortschreitender Auflösung des festen InAs-Kristalles und 3. Verdampfen des in flüssigem Indium vorhandenen restlichen Arsens mit exponentiell abklingenden Verdampfungsraten. Aus der Temperaturabhängigkeit der Verdampfungsrate von As₄ bzw. As₂ wurde eine Aktivierungsenergie der Verdampfung von 88 ± 5 bzw. 78 ± 5 kcal pro Mol bestimmt.