Eine Elektronenbeugungsanlage zur Herstellung und Untersuchung dünner Aufdampfschichten bei Temperaturen der Unterlage von 90° bis 770° K wird beschrieben. Dünne Zinn- und Germaniumschichten werden auf einkristalline Unterlagen aufgedampft und in Reflexion untersucht. Zinn wächst auf den untersuchten heteropolaren Unterlagen mit verschiedenen Fasertexturen auf. Gute Einkristalltexturen erhält man bei Zinn und Germanium auf der Spalt-fläche der Zinkblende in einem Temperaturbereich, in dem beide Elemente auf den bisher untersuchten heteropolaren Unterlagen nur mit einer Fasertextur bzw. statistisch aufwachsen.