Über den Einfluß der unelastisch gestreuten Elektronen auf den Kontrast flächenförmiger Objekte im Elektronenmikroskop

Abstract

Die Einbeziehung der unelastisch gestreuten Elektronen in die Betrachtungen über die Massendickenabhängigkeit des Flächenkontrasts im Elektronenmikroskop zeigt, daß bei Substanzen mit niedrigem Atomgewicht gerade in den Bereichen der Objektivapertur, die in der Elektronenmikroskopie benutzt werden, ein meßtechnisch in den allermeisten Fällen sehr gut erfaßbarer Einfluß der unelastisch gestreuten Elektronen besteht. Da auch die von der Theorie vorgeschlagenen Werte für die Aufhellungsdicke einen größeren Wertbereich umfassen, muß z. Zt. bei Berechnungen der Massendicke aus dem elektronenmikroskopischen Kontrast unter Vernachlässigung der unelastischen Streuung mit einer Unsicherheit gerechnet werden, die in ungünstigen Fällen den Faktor 2 erheblich überschreiten kann.