Propriétés diélectriques de couches minces quasi amorphes d'oxydes métalliques pulverisés
- 1 May 1972
- journal article
- Published by Elsevier in Thin Solid Films
- Vol. 10 (2), 173-183
- https://doi.org/10.1016/0040-6090(72)90185-x
Abstract
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- Variation des constantes diélectriques ou optiques des couches minces pulverisees en fonction de leur épaisseurThin Solid Films, 1970
- Mécanismes de “germination-croissance” de couches minces synthétisées par condensations de plasmas froids (pulvérisation diode)Thin Solid Films, 1970
- Mécanismes de “germination-croissance” de couches minces synthétisées par condensation de plasmas froids (pulvérisation diode). II. Schéma réactionnelThin Solid Films, 1970