Préparation de couches minces de bore (quelques μg/cm2) sur supports minces de carbone

Abstract

Des couches minces de bore (quelques μg/cm2) déposées sur des supports minces de carbone ont été réalisées, le carbone et le bore étant évaporés par bombardement électronique. La mesure de l'épaisseur des couches minces a été faites en utilisant des quartz piézoélectriques, et les difficultés provenant de l'échauffement des quartz et de l'ionisation des atomes évaporés ont été surmontées