Préparation et structure de couches minces d'oxypes de cuivre obtenues par pulvérisation cathodique réactive

Abstract

Dans la synthèse en phase gazeuse de couches minces d'oxydes de cuivre par pulvérisation cathodique réactive de cuivre dans une atmosphère d'oxygène et d'argon, on aboutit généralement à la formation de composés mixtes de Cu2O et de CuO. La présence de Cu2O est toutefois fortement privilégiée. Dans des conditions expérimentales particulières, on n'obtient que de l'oxydule ; il semble que ce serait dans le cas des faibles pressions partielles d'oxygène. La structure des couches a été analysée par microdiffraction électronique