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CVDおよびスパッタリング法による酸化タンタル薄膜の性質
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CVDおよびスパッタリング法による酸化タンタル薄膜の性質
CVDおよびスパッタリング法による酸化タンタル薄膜の性質
田岡
田勝 岡
田勝 岡
博深
博幸 深谷
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敏之 井戸
敏之 井戸
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5 February 1985
journal article
Published by
The Electrochemical Society of Japan
in
Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri Kagaku
Vol. 53
(2)
,
109-113
https://doi.org/10.5796/kogyobutsurikagaku.53.109
Abstract
No abstract available
Cited by 5 articles