RECOMBINAISON RADIATIVE ET EFFETS DE SPIN DANS LE SILICIUM MICROCRISTALLIN POST-HYDROGENE PLASMA

Abstract

Nous présentons des résultats préliminaires sur la luminescence du silicium microcristallin obtenu par LPCVD sur saphir, à 620°C, et hydrogéné plasma à 400°C. Le spectre de luminescence obtenu à 5 K présente six bandes non résolues réparties entre 0,45 et 1 eV, et une bande plus large à plus haute énergie (1,4 eV). Les bandes à basses énergies proviennent vraisemblablement des défauts associés aux grains et aux joints de grains. Les bandes à 0,75 et 0,85 eV présentent un signal RMDO (Résonance Magnétique Détectée Optiquement) d'augmentation et de diminution respectivement. Le signal d'augmentation est la convolution de deux raies ; une étroite à g = 1,9997, de largeur 18 Gauss, une large à g = 2,016 et de largeur 100 Gauss. Le signal de diminution est constitué d'une seule raie à 2,0043 et de largeur 25 Gauss