Es werden die Diffusionskoeffizienten von Mg, Zn, Cd, Ge, Sn, S. Se und Te im Indiumarsenid in einem Temperaturbereich von etwa 600 bis 900° C bestimmt. Dabei sind die Diffusionswege von Donatoren in p-leitendem und von Akzeptoren in n-leitendem Ausgangsgmaterial über die Lokalisierung von p-n-Übergängen mit Hilfe der Thermokraft ermittelt worden. Die Aktivierungsenergien der Diffusion liegen für die Substituenten des As (Ausnahme: Te) bei 2,2 eV und für die des In bei 1,17 eV, sämtliche Diffusionskoeffizienten bei 900° C zwischen 10-8 und 10-11 cm2 sec-1.