Laser-assisted etching for Al2O3/TiC ceramics with Nd:YAG laser and KOH solution.

Abstract

Al₂O₃/TiCを対象として,LAEの特徴,加工の機構とその特性,そして微細加工への応用について検討し,次の結果を得た. (1) LAEはレーザの熱とエッチング液の化学反応を利用した複合加工技術で,その加工面は溶融物やクラックの存在しない粒子状の粗面になるという特徴がある. (2) LAEの基本的な加工機構は,レーザの熱で化学的に活性な溶融物を生成し,この溶融物とKOHが反応してエッチングされることにより,加工が進む. (3) LAEの加工速度はレーザパワー,ビーム走査速度,KOH濃度に依存する.また加工溝の断面形状はビームの発振条件によって変化する.微細加工には(Qスイッチ+シングル)ビームが最適である.