Epitaktisches Aufwachsen von AlN‐Schichten auf SiC‐ und Si‐Einkristallen in der Gasentladung
- 1 January 1965
- journal article
- research article
- Published by Wiley in Physica Status Solidi (b)
- Vol. 9 (2), K73-K75
- https://doi.org/10.1002/pssb.19650090235
Abstract
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