Microrelief on ion-bombarded crystals and induced damage

Abstract

Two types of bombardment experiments were performed. A first series on metallic spheres, examined by replicas, and a second series on thinned crystals, examined by transmission electron microscopy. The observations lead us to propose a model for the formation of the surface microrelief. This model enables one to correlate the observation of regular dislocation networks, due to the segregation in perfect loops of the induced point-defects, to the formation of the relief structure by a preferential sputtering mechanism. En s'appuyant sur les résultats obtenus à partir de deux types d'expériences de bombardement, les unes sur des sphères métalliques examinées par répliques, les autres sur des cristaux amincis examinés par transmission, un modéle est proposé pour la formation du microrelief de surface. Ce modèle permet de relier l'observation de résaux réguliers de dislocations dus à la ségrégation des défauts induits en boucles parfaites, à la formation du relief par un mécanisme de pulvérisation différencié.