Microscope photoélectronique pour l'analyse chimique des surfaces

Abstract

Nous décrivons le principe d'un microscope microanalyseur qui fournirait une image électronique de la préparation spécifique non seulement d'un élément donné mais aussi de son environnement chimique. Le mécanisme de base de l'émission électronique étant celui qui intervient dans la spectroscopie des photoélectrons, l'appareil préconisé est particulièrement adapté à l'analyse chimique des états de surface. Les performances d'un tel instrument sont limitées par la faible densité des photoélectrons émis mais nous montrons, en calculant les conditions optimales de fonctionnement, qu'il est possible d'obtenir une résolution inférieure à 1 μ et un grandissement de l'ordre de 103-104 pour plus de deux tiers des éléments. Nous indiquons enfin quelques aspects concernant la microscopie photoélectronique à balayage